Coloured SEM of microcogs

Bildnummer 11894870
Coloured SEM of microcogs
Microcogs (image 2 of 3). Coloured scanning electron micrograph (SEM) of microcogs forming a microgear mechanism. This could be used in a micromachine,or MicroElectroMechanical System (MEMS). MEMS include microscopic sensors and robots (nanorobots). Microsensors are used to detect acceleration,pressure,flow rates and the presence of certain chemicals. The high-precision cogs are made of nickel to 150 microns in thick- ness. They were created by Professor Henry Guckel at the Wisconsin Center for Applied Microelectron- ics at the University of Wisconsin,USA. Magnific- ation: x130 at 6x7cm size. See images T395 079-081 for the microcogs at increasing magnification
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Credit: Science Photo Library / Parker, David
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